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石英片磁控溅射镀膜的特点一、优点1、靶材粒子能量高(比热蒸发高出1个数量级),所制备膜层更致密,与石英片结合力更高:2、一般备有辅助离子源,可以用来清洗石英片,清洗效果好;3、易于制备熔点高的材料;4、制备合金膜层,可以.........
